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同时极紫外光刻机的光路系统要求考虑的因素非常多，因为极紫外光刻机的光子能量非常高，几乎所有的材料都会吸收极紫外光。
而吸收了极紫外光必然会发热，发热就会带来材料的变形。对于需要纳米级成像的光刻机来说，简直就是灾难，基本就无法使用了。
如果不加控制，光路系统还有被烧毁的风险。
所以极紫外光刻机里，光源和每一面镜子的背后都有非常高效的冷却装置，把极紫外光照射产生的热量及时带走。
最后，光刻机研发真正困难的是成像质量补偿。光刻机对光刻图形的要求是近乎完美的，但设备的生产是不可能做到完美的，镜头使用的材料不可能做到完美。
镜头打磨不可能做到完美，镜头组装也不可能做到完美。同时镜头材料和支撑材料都必然存在热胀冷缩的问题。
这些问题都会给最终成像效果带来误差，而且很多成像误差是不断变化的。
必须通过一系列办法进行校准和修正，甚至要求通过软硬件结合的自动化控制来实现实时成像补偿，这才是真正的难点。
还需要大量精密控制装置的支持专利。不仅实现起来非常困难，还要面临大量的专利陷阱。
这光刻机，本来就是十几个发达国家，联合研制出来的一个产品，涉及到的行业之广，设计到的仪器之顶尖，都是咱们暂时达不到的。
只能说咱们开局太晚了啊！综合那么多高端的精密仪器，我们搞不来……”
陈小川听了之后点点头，众人也是听的云里雾里，但是最终还是知道一个结论，
这光刻机，不好造！
但是陈小川又说：
“李院士说得对，也是说的很全面。这的确是我们的一个不足之处，不，这是我们的很多不足之处。
我们没有那么多高端的仪器制造，没有那么精密的仪器，设备，甚至在光学上，我们也比不过卡尔蔡司。
但是咱们华夏人最不缺的就是创新精神，难道说咱们这芯片制造只能依靠光刻机吗？
没了张屠夫，咱们就要吃带毛猪？不，不可能，一定有其他的替代方案。
光刻机的复杂和精密以及小型化是他的一大优点，但是我觉得这也正是他们光刻机的一个缺点。
正是因为他们要把光刻机当做一个商品售卖，所以他们不得不做的精细，做的方便运输，所以一定要适合运输，只
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